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VOCs對(duì)環(huán)境和人類(lèi)健康都有很大的影響，因此，對(duì)其進(jìn)行有效的治理是非常必要的。工業(yè)污染源 VOCs排放總量的50%左右，主要涉及涂裝、農(nóng)藥、醫(yī)藥、涂料、染料、電子、石油化工、家具制造、印刷等行業(yè)。

電子行業(yè)VOCs廢氣特征
電子行業(yè)VOCs廢氣具有風(fēng)量大、濃度低的特點(diǎn)。廢氣種類(lèi)繁多，成分復(fù)雜，常見(jiàn)成分有苯、甲苯、丙酮、正丁醇、丙醇單甲醚、環(huán)己酮、正庚烷、甲基氫呋喃、三氯乙烯和氯仿等。排放VOCs廢氣還含有酸性氣體、堿性氣體和有毒氣體。如果不處理這些廢氣，不僅會(huì)對(duì)周?chē)h(huán)境產(chǎn)生較大危害，還會(huì)嚴(yán)重影響工人健康，長(zhǎng)時(shí)間接觸這些氣體，會(huì)對(duì)肺部和皮膚黏膜產(chǎn)生刺激作用，從而導(dǎo)致呼吸道和皮膚疾病。
電子行業(yè)產(chǎn)生VOCs的工藝環(huán)節(jié)
電子行業(yè)VOCs廢氣主要來(lái)自于半導(dǎo)體設(shè)備、電子元器件、電子組件、平板顯示器、整機(jī)機(jī)殼的表面涂層工藝使用的溶劑型涂料、清洗工藝使用有機(jī)脫脂劑、脫水劑、感光成像工藝中的光刻膠稀釋劑、顯影劑、脫膠劑、液態(tài)阻焊膜劑、去膜劑等使用有機(jī)溶劑的工藝環(huán)節(jié)。電子行業(yè)涉及VOCs產(chǎn)生較多的主要是光伏制造和電子元件制造。1）光伏行業(yè)典型生產(chǎn)工藝為多晶硅電池的生產(chǎn)工藝流程，產(chǎn)生VOCs的環(huán)節(jié)包括切割、粘結(jié)、清洗、印刷、燒結(jié)等過(guò)程。2）電子元件包括電容器、電阻器、電位器、電感器、電子變壓器、控制元件、電子敏感元件、傳感器和印制電路板等，其工藝流程中涉及注塑、噴涂/印刷、烘干、清潔等環(huán)節(jié)均會(huì)產(chǎn)生VOCs。
VOCs污染防控對(duì)策
1）加強(qiáng)源頭控制
鼓勵(lì)VOCs排放企業(yè)積極使用環(huán)保型材料，推進(jìn)落后傳統(tǒng)工藝的升級(jí)換代，使用低揮發(fā)原材料，改善生產(chǎn)操作條件以減少無(wú)組織逸散，采用新工藝以減少有機(jī)溶劑用量，從源頭控制VOCs排放。2）強(qiáng)化末端治理針對(duì)電子行業(yè)VOCs排放特點(diǎn)采用的末端治理技術(shù)主要是吸附法和焚燒法。吸附法利用多孔性固體吸附劑（如沸石轉(zhuǎn)輪、活性炭）處理混合氣體，活性炭屬非極性吸附劑，對(duì)非極性化合物有較強(qiáng)的吸附能力，一般可凈化低濃度VOCs，凈化效率約90%。沸石轉(zhuǎn)輪與活性炭使用條件和原理相似，但沸石轉(zhuǎn)輪以其凈化效率高、濃縮倍數(shù)高、可連續(xù)運(yùn)行等優(yōu)點(diǎn)得到廣泛運(yùn)用，沸石濃縮轉(zhuǎn)輪+焚燒方法的去除效率可達(dá)90%；RTO設(shè)備凈化效率可達(dá)到99%。對(duì)于半導(dǎo)體、TFT—LCD和LED、PCB等企業(yè)，有機(jī)廢氣一般還含有酸性氣體、堿性氣體和一些有毒氣體，治理技術(shù)一般采用“預(yù)處理+吸附濃縮焚燒法”組合方式，即前端通過(guò)噴淋塔淋洗，后接沸石濃縮轉(zhuǎn)輪+焚燒的方法。（以上內(nèi)容參考《電子工業(yè)廢氣VOCs排放特征及防治對(duì)策探討》、《浙江省揮發(fā)性有機(jī)物污染防治》

電子行業(yè)應(yīng)用案例

                                       某半導(dǎo)體制造企業(yè)轉(zhuǎn)輪+RTO廢氣處理系統(tǒng)
針對(duì)該行業(yè)廢氣特點(diǎn)，本項(xiàng)目采用濃縮+焚燒的治理工藝。濃縮轉(zhuǎn)輪對(duì)大風(fēng)量、低濃度廢氣進(jìn)行濃縮，濃縮后的尾氣進(jìn)入到RTO進(jìn)行焚燒；焚燒產(chǎn)生的余熱可用于轉(zhuǎn)輪的脫附，實(shí)現(xiàn)了能源的回收利用，相比于直燃爐而言，該方案能夠大大節(jié)省運(yùn)行費(fèi)用（節(jié)省60%以上的運(yùn)行成本）。此外，由于該行業(yè)中含有腐蝕性氣體，需要注意預(yù)處理及熱能利用方案的選擇；若采取不當(dāng)?shù)拇胧?，極容易在運(yùn)行階段對(duì)設(shè)備本體造成無(wú)法修復(fù)的影響和損傷。

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